**高性能彈性體(DuPont PerformanceElastomers(DPE))與來自德州奧斯汀的Spansion公司合作以評估一種專門用於提高半導體製造設備無故障運行時間的全氟彈性體產(chǎn)品-O形環(huán)。其令人震驚的產(chǎn)品性能促使Spansion公司對其預防性設備維護(PM)進度表作出變化，從而提高產(chǎn)量並降低製造成本。

　　目前在Fab25生產(chǎn)線上運行的HDPCVD設備生產(chǎn)中所遇到的問題是工藝氣體(SiH4, O2,He)和清潔化學品(NF3和O2兩步等離子處理)兩者所造成的腐蝕性加工環(huán)境。來自密封腐蝕和壓縮形變的高粒子數(shù)和滲漏將會造成在IMD和STI工藝中出現(xiàn)密封故障。設備維護進度表的周期為90天但是密封故障往往在30至60天內(nèi)發(fā)生。因此O形環(huán)的性能與機械性和等離子腐蝕的化學攻擊密切相關。

　　Spansion公司轉(zhuǎn)向**高性能彈性體公司以尋求更多的材料選擇從而提高產(chǎn)品的密封時間以及產(chǎn)生較少的粒子。**的填料和交聯(lián)結(jié)構(gòu)對解決此問題的適用技術至關重要。在參照了規(guī)格書和測試結(jié)果之後對產(chǎn)品進行了改性，並將製造的Kalrez?9100部件與其它競爭產(chǎn)品進行比較。結(jié)果表明Kalrez?9100在任何條件下均比所有競爭產(chǎn)品更加優(yōu)異。正如Spansion公司所進行的擴展評估測試所表明的一樣，所得到的產(chǎn)品表現(xiàn)出了較低的密封腐蝕，產(chǎn)生較少的粒子以及較好的彈性回複特性。其關鍵部件的壽命得到了大幅度延長。