| **高性能彈性體(DuPont PerformanceElastomers(DPE))與來自德州奧斯汀的Spansion公司合作以評估一種專門用于提高半導體制造設備無故障運行時間的全氟彈性體產品-O形環。其令人震驚的產品性能促使Spansion公司對其預防性設備維護(PM)進度表作出變化，從而提高產量并降低制造成本。 目前在Fab25生產線上運行的HDPCVD設備生產中所遇到的問題是工藝氣體(SiH4, O2,He)和清潔化學品(NF3和O2兩步等離子處理)兩者所造成的腐蝕性加工環境。來自密封腐蝕和壓縮形變的高粒子數和滲漏將會造成在IMD和STI工藝中出現密封故障。設備維護進度表的周期為90天但是密封故障往往在30至60天內發生。因此O形環的性能與機械性和等離子腐蝕的化學攻擊密切相關。 Spansion公司轉向**高性能彈性體公司以尋求更多的材料選擇從而提高產品的密封時間以及產生較少的粒子。**的填料和交聯結構對解決此問題的適用技術至關重要。在參照了規格書和測試結果之后對產品進行了改性，并將制造的Kalrez?9100部件與其它競爭產品進行比較。結果表明Kalrez?9100在任何條件下均比所有競爭產品更加優異。正如Spansion公司所進行的擴展評估測試所表明的一樣，所得到的產品表現出了較低的密封腐蝕，產生較少的粒子以及較好的彈性回復特性。其關鍵部件的壽命得到了大幅度延長。 | 
